主要設備

表面形状測定装置

メーカー/型番 レーザーテック製 OPTELICS HYBRID C3
用途例 表面凹凸形状の観察と形状解析(面積・体積・表面積など)、粗さ測定

機能

・共焦点法による表面凹凸形状の観察と測定

・光干渉法による表面形状測定

・微分干渉法による表面観察

・形状特徴の解析(面積・体積・表面積など)

・粗さ測定

特長

・共焦点による焦点深度の深い高コントラストでの観察

・高精度3D測定が可能

・数十nm~数mmの広いレンジでの表面形状測定が可能

・大気中での観察が可能

・顕微鏡感覚の使いやすさ

・国家計量標準に対応したトレーサビリティ対応

・JIS/ISOに準拠した2D・3D表面粗さ測定

用途例

・表面の2D・3D粗さ測定

・表面微細構造物の観察・測定

・表面傷の深さ、長さなどの形状測定

・光干渉法による半導体ウェハのうねり測定

・微分干渉法によるガラスの傷観察

主要スペック

光源キセノン
倍率18.5~2,775倍
ズーム1~8×
視野最大5mm(視野連結機能有り)
測定再現性(幅、高さ)幅 3σ=10nm  高さ σ=10nm
測定高さ範囲7mm
フレームレート15Hz~120Hz
試料最大高さ80mm
XYステージ可動範囲150mm×150mm(電動)

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