| メーカー/型番 | キーエンス社製 VN-8010 |
|---|---|
| 用途例 | DLC膜表面粗さ観察等 |
微小な針（探針：プローブ）を試料表面に近づけて走査し、原子間力を検出して試料の凹凸を測定する顕微鏡
特長
・試料表面状態の超高精細観察が可能
・大気中での観察が可能で、試料への前処理が不要
機能
・微細な表面形状を高倍率で観察する
用途例
・DLC（ﾀﾞｲﾔﾓﾝﾄﾞﾗｲｸｶｰﾎﾞﾝ）膜表面粗さ観察
・プリント配線観察
・超微細粒子観察
主要スペック
| ・垂直分解能 | 0.3nm |
| ・観察範囲 | (XY)200nm～200㎛ (Z)±10㎛ |
| ・モニタ倍率 | 250～1280倍 |
観察例
Siウェハに成膜したCuナノ粒子（粒子径：70～100nm）
