走査型電子顕微鏡（SEM）＜ものセン阪神整備機器＞
走査型電子顕微鏡（SEM）＜ものセン阪神整備機器＞
日本電子社製 JSM-6390A
疲労破面の観察等
電子線を試料に当てて表面を観察する装置で、EDS（エネルギー分散型X線検出器）により元素分析を行うことができる。
■特長
・表面に凹凸があっても鮮明な画像が得られる。
・ペルチェ冷却方式X線分光器を搭載しており、画像内局所の化学元素分析が迅速にできる。
■機能
・試料表面を大きく拡大して表面形状などを観察する。
・表面や断面の異物などの化学元素分析ができる。
■用途例
・研削面などの性状観察。
・破損部品などの破面観察。
・表面に付着した異物の元素分析。
・材料内非金属介在物の元素分析。
・材料の化学成分調査、マッピング。
■主要スペック
| ・倍率 | 5～300,000倍 |
| ・分析可能元素 | C（カーボン）～U（ウラン）；周期律表 |
| ・分解能 | 3.0nm（2次電子分解能） |
| ・試料台 | Φ30mm |
| ・X線分光器 | エネルギー分散型 |
■.金属疲労破面写真(×400）
