表面形状測定装置(共焦点・光干渉・微分干渉顕微鏡)


表面形状測定装置(共焦点・光干渉・微分干渉顕微鏡)

レーザーテック製 OPTELICS HYBRID C3

表面凹凸形状の観察と形状解析(面積・体積・表面積など)、粗さ測定
■主要スペック
光源 | キセノン |
倍率 | 18.5~2,775倍 |
ズーム | 1~8× |
視野 | 最大5mm(視野連結機能有り) |
測定再現性(幅、高さ) | 幅 3σ=10nm 高さ σ=10nm |
測定高さ範囲 | 7mm |
フレームレート | 15Hz~120Hz |
試料最大高さ | 80mm |
XYステージ可動範囲 | 150mm×150mm(電動) |