表面形状測定装置（共焦点･光干渉･微分干渉顕微鏡）

レーザーテック製 OPTELICS HYBRID C3

表面凹凸形状の観察と形状解析（面積・体積・表面積など）、粗さ測定

■機能

・共焦点法による表面凹凸形状の観察と測定

・光干渉法による表面形状測定

・微分干渉法による表面観察

・形状特徴の解析（面積・体積・表面積など）

・粗さ測定

■特長

・共焦点による焦点深度の深い高コントラストでの観察

・高精度３D測定が可能

・数十nm～数mmの広いレンジでの表面形状測定が可能

・大気中での観察が可能

・顕微鏡感覚の使いやすさ

・国家計量標準に対応したトレーサビリティ対応

・JIS/ISOに準拠した2D・３D表面粗さ測定

■用途例

・表面の２D・3D粗さ測定

・表面微細構造物の観察・測定

・表面傷の深さ、長さなどの形状測定

・光干渉法による半導体ウェハのうねり測定

・微分干渉法によるガラスの傷観察

■主要スペック