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原子間力顕微鏡(AFX)<ものセン阪神整備機器>

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装置名
原子間力顕微鏡(AFM)<ものセン阪神整備機器>
装置メーカー/型式
キーエンス社製 VN-8010
装置の使用用途例
DLC膜表面粗さ観察等

装置の仕様や特長など

微小な針(探針:プローブ)を試料表面に近づけて走査し、原子間力を検出して試料の凹凸を測定する顕微鏡。

■特長
・試料表面状態の超高精細観察が可能。
・大気中での観察が可能で、試料への前処理が不要。

■機能
・微細な表面形状を高倍率で観察する。

■用途例
・DLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜表面粗さ観察。
・プリント配線観察。
・超微細粒子観察。
 
■主要スペック 

・垂直分解能0.3nm
・観察範囲(XY)200nm~200㎛ (Z)±10㎛
・モニタ倍率250~1280倍


■観察例:Siウェハに成膜したCuナノ粒子(粒子径:70~100nm)
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