原子間力顕微鏡（AFM）＜ものセン阪神整備機器＞
原子間力顕微鏡（AFM）＜ものセン阪神整備機器＞
キーエンス社製 VN-8010
DLC膜表面粗さ観察等
微小な針（探針：プローブ）を試料表面に近づけて走査し、原子間力を検出して試料の凹凸を測定する顕微鏡。
■特長
・試料表面状態の超高精細観察が可能。
・大気中での観察が可能で、試料への前処理が不要。
■機能
・微細な表面形状を高倍率で観察する。
■用途例
・DLC（ﾀﾞｲﾔﾓﾝﾄﾞﾗｲｸｶｰﾎﾞﾝ）膜表面粗さ観察。
・プリント配線観察。
・超微細粒子観察。
■主要スペック
| ・垂直分解能 | 0.3nm |
| ・観察範囲 | (XY)200nm～200㎛ (Z)±10㎛ |
| ・モニタ倍率 | 250～1280倍 |
■観察例：Siウェハに成膜したCuナノ粒子（粒子径：70～100nm）
