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走査型電子顕微鏡(SEM)<ものセン阪神整備機器>



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装置名
走査型電子顕微鏡(SEM)<ものセン阪神整備機器>

装置メーカー/型式
日本電子社製 JSM-6390A

装置の使用用途例
疲労破面の観察等


装置の仕様や特長など


電子線を試料に当てて表面を観察する装置で、EDS(エネルギー分散型X線検出器)により元素分析を行うことができる。

■特長
・表面に凹凸があっても鮮明な画像が得られる。
・ペルチェ冷却方式X線分光器を搭載しており、画像内局所の化学元素分析が迅速にできる。

■機能
・試料表面を大きく拡大して表面形状などを観察する。
・表面や断面の異物などの化学元素分析ができる。

■用途例
・研削面などの性状観察。
・破損部品などの破面観察。
・表面に付着した異物の元素分析。
・材料内非金属介在物の元素分析。
・材料の化学成分調査、マッピング。

■主要スペック 

・倍率5~300,000倍
・分析可能元素C(カーボン)~U(ウラン);周期律表
・分解能3.0nm(2次電子分解能)
・試料台Φ30mm
・X線分光器エネルギー分散型


■.金属疲労破面写真(×400)
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