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表面形状測定装置(共焦点・光干渉・微分干渉顕微鏡)



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装置名
表面形状測定装置(共焦点・光干渉・微分干渉顕微鏡)

装置メーカー/型式
レーザーテック製 OPTELICS HYBRID C3

装置の使用用途例
表面凹凸形状の観察と形状解析(面積・体積・表面積など)、粗さ測定、膜厚測定


装置の仕様や特長など


■機能

・共焦点法による表面凹凸形状の観察と測定

・光干渉法による表面形状測定

・微分干渉法による表面観察

・形状特徴の解析(面積・体積・表面積など)

・粗さ測定

・透明膜厚測定

■特長

・共焦点による焦点深度の深い高コントラストでの観察

・高精度3D測定が可能

・数十nm~数mmの広いレンジでの表面形状測定が可能

・大気中での観察が可能

・顕微鏡感覚の使いやすさ

・国家計量標準に対応したトレーサビリティ対応

・JIS/ISOに準拠した2D・3D表面粗さ測定

■用途例

・表面の2D・3D粗さ測定

・表面微細構造物の観察・測定

・表面傷の深さ、長さなどの形状測定

・表面段差を用いた膜厚測定

・光干渉法による半導体ウェハのうねり測定

・微分干渉法によるガラスの傷観察

 

 

■主要スペック

光源キセノン
倍率18.5~2,775倍
ズーム1~8×
視野最大5mm(視野連結機能有り)
測定再現性(幅、高さ)
幅 3σ=10nm  高さ σ=10nm
測定高さ範囲
7mm
フレームレート15Hz~120Hz
試料最大高さ
80mm
XYステージ可動範囲
150mm×150mm(電動)

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