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短波長・短パルスレーザによる次世代超微細加工技術の開発

2016年10月14日


・研究結果の概要

波長及び繰り返し発振時間が極めて短いことから材料への溶融・変質ダメージが殆どない国内最高品質 レーザビームを用いて将来の新産業の核として期待される以下の応用分野の探索研究を行った。

(1)次世代フラットパネルディスプレイ用微細薄膜加工技術

(2)繊維強化プラスチック等樹脂系材料の塗膜除去技術

(3)高性能水素吸蔵材の製造技術

(4)バイオチップ用基板の微細加工技術

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