兵庫県尼崎市 ものづくり総合相談/技術・製品開発に関する問題解決や情報調査・提供 | 一般財団法人 近畿高エネルギー加工技術研究所


一般財団法人 近畿高エネルギー加工技術研究所(AMPI) お問い合わせはこちら
活用事例|一般財団法人 近畿高エネルギー加工技術研究所(AMPI)
一般財団法人 近畿高エネルギー加工技術研究所> >活用事例(研究開発部/サポイン)> >真空環境における高品質ものづくりに寄与する計測ネットワーク監視システムの研究開発

お知らせ一覧

真空環境における高品質ものづくりに寄与する計測ネットワーク監視システムの研究開発

2016年10月12日


・研究目的

技術革新の激しいデバイスメーカーでは、薄膜加工技術の高度化が求められている。 本プロジェクトにおいては、申請者らが新たに開発した化学液に安定で高温耐性のあるTaAl-N薄膜材料をもとに、平成18年度戦略的基盤技術高度化支援事業による成果を活用して薄膜デバイスを作製する真空装置内の必要な狭小空間へも取付が可能な圧力・温度計測用薄膜マイクロセンサと、多チャンネルの圧力・温度を計測・記録するシステムを開発するとともに、真空環境下で作動し成膜工程を必要に応じて観察できる撮像装置を開発する。

これらから得られる数々の情報を有機的に活用し薄膜デバイス作製装置の総合的な管理ができる生産プロセス総合計測ネットワーク監視・制御システムにの実現に取り組む。

ページトップへ