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多波長レーザ加工装置



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装置名
多波長レーザ加工装置

装置メーカー/型式
テクニー社製 特別仕様

装置の使用用途例
透明電導膜のパターン加工/樹脂、ゴム、金属薄板等の穴あけ加工/表面改質、表面洗浄加工


装置の仕様や特長など


1.微細加工に適したパルスレーザ。 基本波長(波長1064nm)だけでなく材料に応じて、ビーム集光特定の良いUVレーザ光(波長355nm)、 可視光(波長532nm)による加工が可能。

2.主な仕様

・レーザ発振波長1064nm、532nm、355nmから選択
・レーザ出力15W(1064nm)、10W(532nm)、5W(355nm)
・パルス幅、周波数13ns(@355、50kHz)、20~100kHz
・集光ビーム径20μm(@355)
・加工テーブル真空チャック方式、寸法430×330mm
・ストローク900×560mm
・繰り返し位置決め精度±5㎛


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