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原子間力顕微鏡(AFX)<ものセン阪神整備機器>



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装置名
原子間力顕微鏡(AFM)<ものセン阪神整備機器>

装置メーカー/型式
キーエンス社製 VN-8010

装置の使用用途例
DLC膜表面粗さ観察/プリント配線観察/超微粒子観察


装置の仕様や特長など


1.観察・測定用顕微鏡で、平滑平面、超微細構造物の超高精細観察が可能
2.主な仕様

・垂直分解能0.3nm
・観察範囲(XY)200nm~200㎛ (Z)±10㎛
・モニタ倍率250~1280倍

3.用途例
・DLC膜表面粗さ観察
・プリント配線観察
・超微粒子観察
4.Siウェハーに成膜したCuナノ粒子(粒子径:70~100nm)

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