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プラズマPVD複合薄膜装置



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装置名
プラズマPVD複合薄膜装置

装置メーカー/型式
神戸製鋼所製 UBMS503

装置の使用用途例
切削工具用/一般刃物用/自動車部品用等


装置の仕様や特長など


1.プラズマを利用したドライコーティング装置 自動車部品や機械部品にDLC(ダイヤモンドライクカーボン)被膜やTiN被膜等を成膜し、耐摩耗性や高潤滑性を 付与する。
2.主な仕様

・成膜プロセスアンバランスドマグネトロンスパッタリング(UBSM)とアークイオンプレーティング(AIP)
・有効処理空間Φ400mm×400mm
オートプログラム機構

3.用途例
切削工具用非鉄金属用刃物、ドライカッティング用切削工具(ドリル、エンドミル)
一般刃物用カミソリ刃、メタルソー、スリッター等各種鋸、食品加工用刃
自動車部品燃料噴射用プランジャー、カムシャフト、リフター、ピストン他
機械部品ミシン用ボビン、が磯・ポイント、トラベラー
冷間工具アルミ加工用ロール、伸線ダイス等
機能膜用途食品包装、音響部品、電気カミソリ刃

4.DLC、TiN被膜形成


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