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プラズマPVD複合薄膜装置



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装置名
プラズマPVD複合薄膜装置

装置メーカー/型式
神戸製鋼所製 UBMS503

装置の使用用途例
切削工具用/一般刃物用/自動車部品用等


装置の仕様や特長など


プラズマを利用したドライコーティング装置 。

■特長
・成膜時のアシストイオン効果が高いため、硬度などの特性の優れた膜が形成できる。

■機能
・金属部品などの表面にミクロンオーダーの高性能被膜を形成する。
・DLC(ダイヤモンドカーボン)被膜やTiN(窒化チタン)被膜を成膜し、耐摩耗性や高潤滑性を付与
 する。

■用途例
・切削工具用:非鉄金属用刃物、ドライカッティング用切削工具(ドリル、エンドミル)。
・一般刃物用:カミソリ刃、メタルソー、スリッター等各種鋸、食品加工用刃。
・自動車部品:燃料噴射用プランジャー、カムシャフト、リフター、ピストン他。
・機械部品:ミシン用ボビン、ガイド・ポイント、トラベラー。
・冷間工具:アルミ加工用ロール、伸線ダイス等。
・機能膜用途:食品包装、音響部品、電気カミソリ刃。

■主要スペック

・成膜プロセスアンバランスドマグネトロンスパッタリング(UBSM)とアークイオンプレーティング(AIP)
・有効処理空間Φ400mm×400mm
オートプログラム機構複数の成膜条件を自動プログラミング可能


■DLC、TiN被膜形成


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