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ドライコーティング被膜の諸特性が知りたい


支援先名
支援タイトル ドライコーティング被膜の諸特性が知りたい


AMPIの支援内容


<AMPIの対応>

数種類の被膜のサンプル(TiN、TiAlN、CrN、DLCなど)を作成し、その物性を調査した。

特にDLC被膜は他の被膜と比べて、非常に硬度が高く切削工具等に加工する場合が多いが、アモルファス状の被膜のためか付いた指紋のふき取りが容易に出来ることから、美観を必要とする部品への適用も考えられる。

<使用した装置>

プラズマPVD装置






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